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【納米展】大阪大學(xué)采用涂布法制成載流子遷移率達(dá)5cm2/Vs的有機(jī)TFT

編輯:hattie 2010-02-24 09:52:58 瀏覽:1491  來源:日經(jīng)BP社

  日本大阪大學(xué)研究生院理學(xué)研究系化學(xué)專業(yè)副教授竹谷純一的研究小組采用涂布法制成了載流子遷移率高達(dá)5cm2/Vs的有機(jī)薄膜晶體管(TFT)。該大學(xué)在“nano tech 2010(國際納米科技綜合展)”(2月17日~19日)的日本新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)(NEDO)展區(qū)內(nèi),展示了這一成果。

  大阪大學(xué)發(fā)現(xiàn)在硅底板上設(shè)置具有長方形截面的結(jié)構(gòu)物時,滴落的有機(jī)液體會以結(jié)構(gòu)物的截面為基點(diǎn)(生長核),朝著遠(yuǎn)離截面的方向均勻固化的現(xiàn)象。大阪大學(xué)表示,利用這一現(xiàn)象,“能夠?qū)崿F(xiàn)使用以往的生長核位置隨機(jī)確定的涂布法難以實(shí)現(xiàn)的高品質(zhì)有機(jī)單晶體”。

  大阪采用這種方法,制成了柵極長為100μm的有機(jī)TFT。這種TFT具有p型傳導(dǎo)特性,載流子遷移率為5cm2/Vs,開關(guān)比為105。只采用涂布法形成了通道,電極等則采用普通的氣相法形成。通道材料中使用了將BTBT(Benzothieno Benzothiophene)溶入庚烷(Heptane)的有機(jī)液體。

  硅底板上的結(jié)構(gòu)物采用了硅切片,不過還可采用像曝光抗蝕劑一樣與TFT制造工序具有較高親和性的材料。大阪大學(xué)表示,今后將面向顯示器驅(qū)動等用途推進(jìn)TFT的陣列化,同時“驗(yàn)證可在柔性底板上實(shí)現(xiàn)何種性能”(同大學(xué))。

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