富士膠片針對(duì)正在開(kāi)發(fā)之中的使用有機(jī)光電轉(zhuǎn)換薄膜的CMOS傳感器(有機(jī)CMOS傳感器),發(fā)表了大幅遏制光線入射角變化造成的感度下降的成果(圖1)。
圖1:實(shí)現(xiàn)接近理論極限的特性
富士膠片開(kāi)發(fā)的有機(jī)CMOS傳感器幾乎沒(méi)有入射角依存性,因此具有容易抑制感度下降的特性(a)。為了獲得這種特性,有機(jī)CMOS傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)(b)。(根據(jù)富士膠片的資料制作)
(注1)富士膠片在2006年利用有機(jī)CMOS傳感器成功拍攝單色圖像,在2009年成功拍攝了彩色圖像。
使用硅的普通CMOS傳感器如果入射角超過(guò)30°,輸出電壓會(huì)大幅降低,與之相比,這次的開(kāi)發(fā)品沒(méi)有出現(xiàn)明顯的電壓下降。富士膠片表示,這是通過(guò)“改進(jìn)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換薄膜的材料和生成工藝”,輸出電壓的角度依賴性達(dá)到了與攝像元件的理論極限基本相同的水平。由此有機(jī)CMOS傳感器有望實(shí)現(xiàn)超越使用硅的CMOS傳感器的窄間距化。
雖然高感度CMOS傳感器的代表有背面照射型(backside illumination:BSI)傳感器,但實(shí)際上,入射角依賴性和窄間距化方面存在極限。間距越窄,入射光進(jìn)入相鄰像素的串?dāng)_(混色)就越嚴(yán)重,“像素間距小于0.9μm的BSI傳感器實(shí)現(xiàn)起來(lái)相當(dāng)困難”(業(yè)內(nèi)人士)。
對(duì)此,此次開(kāi)發(fā)的有機(jī)CMOS傳感器超過(guò)了BSI傳感器的極限。舉例來(lái)說(shuō),當(dāng)入射角達(dá)40度時(shí),可以得到約為BSI傳感器2倍的輸出電壓。這種特性在窄間距下也可以維持。這是因?yàn)橛袡C(jī)光電轉(zhuǎn)換膜的厚度僅為0.5μm,光線難以進(jìn)入相鄰像素。
剩下的問(wèn)題是提高畫(huà)質(zhì)。在現(xiàn)階段,畫(huà)質(zhì)劣化的原因——隨機(jī)噪聲高達(dá)38電子(rms值)。富士膠片介紹說(shuō)“原因是被稱為kTC噪聲的電荷熱波動(dòng)產(chǎn)生的噪聲。目前,(本公司)正與其他公司合作開(kāi)發(fā)通過(guò)改良信號(hào)處理電路解決問(wèn)題的方案”。如果隨機(jī)噪聲能夠抑制到個(gè)位數(shù)電子,那么有機(jī)CMOS傳感器就有望投入實(shí)用。
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